FESTO AG & Co. KG: Pneumatic bearing device DE102009041801A1 (en) 2009-09-18: 2011-03-24: Festo Ag & Co. Kg: Air storage facility DE102017212090A1 (en) * 2017-07-14: 2019-01-17: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh: Air bearing device, holding device, coordinate measuring machine for manufacturing methods

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